各種ガラスの超薄板研磨を行っています。 両面同時研磨ですので、接着研磨のような、厚みのバラつきや うねりなどが無く、高精度な平行平面板の製作が可能です。 |
厚さ(o) | 0.01 〜 20 程度 |
外径(o) | φ10〜φ300(10□〜200□) |
平行辺面 | 〜1/20λ |
平行度 | 1″ |
薄板研磨加工品 | バンドパスフィルター スペーサーガラス センサー用基板 光学用,レーザー用カバーガラス ガラスフィルター ハーフミラー 半導体ガラスウェハー |
研磨可能材料 | 石英ガラス、パイレックスガラス D−263、BK−7 シリコンウェハー 結晶化ガラス(ゼロデュア等) 各種透過用・反射用光学ガラス |