基板用ガラスに要求される性質として、次のような項目が挙げられます。
1.薄い板状のものが得易いこと 2.加工が容易であること 3.表面が平坦でかつ滑らかであること 4.電気的に安定していること 5.化学的に安定していること 6.洗浄が容易なこと 7.エレメントリーや、リード線の取付けが 容易であること 8.熱や機械的な応力に強いこと |
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たくさんの種類のガラスの中から、使用目的に合う電気特性や、その他の性質を 満足するガラスを選ぶことが大切です。 中でも多く出回っているガラスの種類として、以下のようなものがあります。 |
ソーダライムガラス | パイレックスガラス |
蛍光灯や電球などの素材で、同系 ガラスの板状のものとしては、窓ガラスや 乾板、スライドガラス等があります。 厚みは、0.55oから各種製造されています。 |
よく知られた硼珪酸ガラスで、アルカリ分の 少ないことから、Substrateとして、有用と考え られますが、Drawn sheetとして、1o以下の 厚みには作られていないので、少し厚めの板から 研磨しなければならないという不便があります。 |
マイクロシートガラス | バイコールガラス |
0.5o以下の厚みで可能な板状製品として 多くの実績があります。0.05o〜0.7oの 厚み範囲で、300o角の板が市販されています。 アルカリ、亜鉛での対薬品性が高い、という 性質があります。 |
超耐熱ガラスとして知られたもので、パイレックス 板と同じく研磨する必要があります。 96%以上のSlicaを、含むものでアルカリ分は 1%以下と、石英ガラスと同様の特性を持っています。 |
無アルカリガラス | 石英ガラス |
0.3o〜1.2oの厚みの板状製品があり、 いわゆるSubstrate用ガラスとして開発された もので、アルカリ分をほとんど含まず、低膨張率、 高耐熱性で、安定した特性を持っています。 |
1o以下の厚みにするには、研磨が必要です。 ガラスの中では、最も特性の良いものですが、 高価なのが難点です。 |
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