基板用ガラスの種類


基板用ガラスに要求される性質として、次のような項目が挙げられます。

1.薄い板状のものが得易いこと
2.加工が容易であること
3.表面が平坦でかつ滑らかであること
4.電気的に安定していること
5.化学的に安定していること
6.洗浄が容易なこと
7.エレメントリーや、リード線の取付けが
  容易であること
8.熱や機械的な応力に強いこと

 たくさんの種類のガラスの中から、使用目的に合う電気特性や、その他の性質を
 満足するガラスを選ぶことが大切です。
 中でも多く出回っているガラスの種類として、以下のようなものがあります。


ソーダライムガラス パイレックスガラス
蛍光灯や電球などの素材で、同系
ガラスの板状のものとしては、窓ガラスや
乾板、スライドガラス等があります。
厚みは、0.55oから各種製造されています。

よく知られた硼珪酸ガラスで、アルカリ分の
少ないことから、Substrateとして、有用と考え
られますが、Drawn sheetとして、1o以下の
厚みには作られていないので、少し厚めの板から
研磨しなければならないという不便があります。

マイクロシートガラス バイコールガラス
0.5o以下の厚みで可能な板状製品として
多くの実績があります。0.05o〜0.7oの
厚み範囲で、300o角の板が市販されています。
アルカリ、亜鉛での対薬品性が高い、という
性質があります。

超耐熱ガラスとして知られたもので、パイレックス
板と同じく研磨する必要があります。
96%以上のSlicaを、含むものでアルカリ分は
1%以下と、石英ガラスと同様の特性を持っています。

無アルカリガラス 石英ガラス

0.3o〜1.2oの厚みの板状製品があり、
いわゆるSubstrate用ガラスとして開発された
もので、アルカリ分をほとんど含まず、低膨張率、
高耐熱性で、安定した特性を持っています。
1o以下の厚みにするには、研磨が必要です。
ガラスの中では、最も特性の良いものですが、
高価なのが難点です。




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